基板检查装置、基板处理装置、基板检查方法以及基板处理方法

摘要

本发明由旋转保持部以使基板能够旋转的方式保持该基板。在进行第一拍摄时，由拍摄部对由旋转保持部保持的基板进行拍摄，由此生成用于表示基板的图像的第一图像数据。在进行第一拍摄后，由旋转保持部使基板仅旋转预先规定的角度。在使基板旋转后进行第二拍摄时，由拍摄部对由旋转保持部保持的基板进行拍摄，由此生成用于表示基板的图像的第二图像数据。基于第一图像数据及第二图像数据，判定基板的表面状态有无缺陷。