公开/公告号CN111290219B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-26
原文格式PDF
申请/专利权人 长江存储科技有限责任公司;
申请/专利号CN202010064505.X
申请日2020-01-20
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构44202 广州三环专利商标代理有限公司;
代理人熊永强
地址 430074 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号
入库时间 2022-08-23 11:36:49
机译: 晶圆测量方法和装置,以及计算机可读存储介质
机译: 晶圆预对准装置,其判断晶圆存在的方法,用于感测晶圆边缘位置的方法,具有用于执行该位置感测方法的记录程序的计算机可读记录介质,用于感测晶圆边缘位置的装置以及电量传感器
机译: 信息处理设备,其控制方法以及计算机可读存储介质,其计算模型特征与测量数据特征之间的对应精度并基于该精度对图像中的几何模型和对象进行核对