一种柔性矢量流速传感器、传感器阵列及传感器制备方法

摘要

本发明公开一种柔性矢量流速传感器、传感器阵列及传感器制备方法。该柔性矢量流速传感器包括：柔性薄膜基底、压阻传感单元和信号引线；在柔性薄膜基底上设置有孔，在孔中由孔边缘向孔中心延伸出4个悬臂梁；任意相邻的两个悬臂梁相互垂直，任意间隔设置的两个悬臂梁共线；压阻传感单元的数量与悬臂梁的数量相同；每个压阻传感单元固定在对应的悬臂梁上且与柔性薄膜基底相接触；信号引线的数量是压阻传感单元的数量的2倍；每个信号引线均固定在柔性薄膜基底上；每个信号引线的一端均连接到对应的压阻传感单元，另一端延伸至柔性薄膜基底的边缘。本发明能够检测来流速度和方向并避免对流场产生干扰。