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基底基板、基底基板的制造方法和第13族氮化物结晶的制造方法

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作为本发明的一个实施方式的基底基板(14)在蓝宝石基板(15)上具备第13族氮化物的晶种层(16)。在晶种层(16)的主面以条纹状重复出现凸部(16a)和凹部(16b)，凸部(16a)的阶差(ha)为0.3～40μm，凸部(16a)的宽度(wa)为5～100μm，凹部(16b)的厚度(tb)为2μm以上，凹部(16b)的宽度(wb)为50～500μm。

著录项

公开/公告号CN108138361B

专利类型发明专利
公开/公告日2021-02-12

原文格式PDF
申请/专利权人日本碍子株式会社;
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申请/专利号CN201680052907.X
发明设计人平尾崇行;岩井真;今井克宏;吉野隆史;
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申请日2016-09-30
分类号H01L21/20(20060101);H01L21/208(20060101);C30B29/38(20060101);C30B19/12(20060101);
代理机构11432 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙);
代理人王轶;郑雪娜
地址日本国爱知县
入库时间 2022-08-23 11:31:44

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