一种MEMS悬臂梁的形变分析方法

摘要

一种MEMS悬臂梁的形变分析方法，其特征在于，包括以下步骤：建立基于MEMS悬臂梁结构受到加速度冲击载荷作用后的冲击形变模型；所述MEMS受到加速度载荷冲击后，基于冲击形变模型，获取MEMS悬臂梁内部应力，建立内部应力模型；获取MEMS悬臂梁由于内部应力作用而产生的应变，建立应变模型；获取MEMS悬臂梁由于应变而产生的形变，建立形变模型。本发明首次建立了基于加速度冲击载荷作用下的形变模型，给出了MEMS悬臂梁结构弹性和塑形双形变分析模型，实现了对MEMS悬臂梁在受到加速度冲击载荷后的形变进行预测和计算，填补国内外对MEMS悬臂梁结构受到加速度冲击载荷作用后发生形变的研究空白。