机译:用MEMS悬臂梁研究了KA波段MEMS电力传感器的研究
Nanjing Univ Lab Modern Acoust MOE Nanjing 210046 Peoples R China|Nanjing Univ Posts & Telecommun Nanjing 210023 Peoples R China;
Nanjing Univ Posts & Telecommun Nanjing 210023 Peoples R China;
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Nanjing Univ Lab Modern Acoust MOE Nanjing 210046 Peoples R China;
Power sensor; Sensitivity; Overload power; Micro-electro-mechanical system (MEMS); Cantilever beam;
机译:MEMS悬臂梁对Ka波段MEMS功率传感器的研究
机译:基于MEMS悬臂梁的双通道微波功率传感器的测量精度研究
机译:基于MEMS悬臂梁的双通道微波功率传感器的测量精度研究
机译:开发用于电源终端监控的MEMS电流传感器:第VIII部分-基于悬臂梁结构的压电层的分段设计和经验分析
机译:MEMS悬臂传感器,用于太赫兹光声化学感测和光谱学。
机译:利用压阻悬臂的基于MEMS的脉搏波传感器
机译:基于MEMS技术的悬臂梁脉冲传感器的制造与特性研究