机译:用于PWM MEMS压力传感器的表面微机械钼悬臂梁的制造及影响产量的问题
机译:GaAs MMIC技术制造的基于MEMS悬臂梁的电容式功率传感器
机译:基于PDMS的静电驱动MEMS悬臂梁的设计和制造
机译:澄清温度影响的基于MEMS的双光束悬臂流量传感器的制作和测试
机译:用于微流体应用的基于脉冲MEMS的微流量传感器的制造和表征。
机译:利用压阻悬臂的基于MEMS的脉搏波传感器
机译:基于PDMS的静电驱动MEMS悬臂梁的设计和制造
机译:使用碳纳米管和mEms制造技术的微化学和气体传感器