一种基于柔性基板弯曲条件下的MEMS悬臂梁结构力学分析方法

摘要

本发明公开了一种基于柔性基板弯曲条件下的MEMS悬臂梁结构力学分析方法，主要包括两个步骤：其一是建立基于MEMS悬臂梁结构与柔性基板双变形的形变耦合模型，实现MEMS悬臂梁结构与柔性基板之间关键结构参数变化量的提取。其二是基于MEMS悬臂梁结构弯曲特性模型，获得MEMS悬臂梁结构/基板双变形的形变量。通过以上参数为基础，重建MEMS悬臂梁结构力学模型，分析弯曲变形对MEMS悬臂梁结构力学性能的影响。本发明提供了一种基于复杂环境空间，包含MEMS悬臂梁结构与柔性基板双变形模型，考虑MEMS悬臂梁结构残余应力梯度影响的MEMS悬臂梁结构力学分析方法。