一种基于MEMS超谐同步加速度计的频率自动跟踪方法及系统

摘要

本发明公开了一种基于MEMS超谐同步加速度计的频率自动跟踪方法及系统，频率计数器间隔一定周期采集频率点数并进行数据处理，去除跳跃点并求取平均值可获得振荡回路1，振荡回路2的频率均值；对频率均值进行频率差值比较；对频率差值进行阈值判定，判断是否需要执行频率补偿操作；对频率差值进行零点判定，判断所需执行的正、负补偿；根据结果，对同步梁振荡器执行正补偿或负补偿，通过控制高阶同步模块的频率实现MEMS超谐同步带宽的扩大。本发明首次提出频率自动跟踪技术，结合硅基谐振器中存在的焦耳热效应和幅值‑频率效应建立完整的算法体系进行频率补偿，大幅提升同步加速度计的整体性能。