衬底处理系统中用作硬掩模的无定形碳和硅膜的金属掺杂

摘要

本发明涉及衬底处理系统中用作硬掩模的无定形碳和硅膜的金属掺杂。用于沉积金属掺杂的无定形碳硬掩模膜或金属掺杂的无定形硅硬掩模膜的系统和方法包括：将衬底布置在处理室中；供给载气至所述处理室；供给烃前体气体或硅前体气体至所述处理室；供给基于金属的前体气体至所述处理室；使等离子体在所述处理室产生或供给等离子体到所述处理室中的一者；以及分别在所述衬底上沉积金属掺杂的无定形碳硬掩模膜或金属掺杂的无定形硅硬掩模膜。