单色X射线的单晶/定向晶应力测量系统和测量方法

摘要

本发明公开了一种单色X射线的单晶/定向晶应力测量系统和测量方法，测量系统中，多轴样品台包括沿X轴平移的X自由度、沿Y轴平移的Y自由度、沿Z轴平移的Z自由度、绕Z轴旋转的旋转自由度以及绕X轴和/或Y轴倾转的倾转自由度，样品台控制模块基于指令控制样品台的在其自由度上的运动，共心高调整模块基于样品表面位置发送指令到样品台控制模块使得样品表面处于共心高位置，控制单元发出指令到样品台控制模块使得处于共心高位置的样品表面旋转和倾转，以及调整X射线发生器X射线入射方向和采集模块的采集位置以采集衍射峰信号，计算模块基于衍射峰信号生成应力数据。