单色及多色光X射线的单晶/定向晶应力测量系统和方法

摘要

本发明公开了一种单色及多色光X射线的单晶/定向晶应力测量系统和测量方法，测量系统中，包括：多轴样品台，样品台控制器，多色光X射线发生器，单色光X射线发生器，X射线探测器，共心点调整模块，计算储存模块，控制模块。测量方法中，包括：调节样品表面到共心点；多色光X射线发生器产生多色光X射线，样品曝光，X射线探测器采集衍射峰信号；基于采集到的衍射峰信号，计算储存模块计算样品取向；多轴样品台驱动处于共心点的样品表面旋转和倾转，单色X射线发生器照射样品表面，采集模块采集样品表面的衍射峰信号；基于采集到的衍射峰信号，计算储存模块计算应力数据。