公开/公告号CN110553666B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-18
原文格式PDF
申请/专利权人 北京博达微科技有限公司;
申请/专利号CN201910821040.5
申请日2019-09-02
分类号G01C25/00(20060101);
代理机构11001 北京国林贸知识产权代理有限公司;
代理人李桂玲;杜国庆
地址 101300 北京市顺义区仁和镇澜西园三区37号楼1层109室(科技创新功能区)
入库时间 2022-08-23 11:25:47
机译: 一种制造MEMS电容式麦克风的MEMS方法及由该方法制造的MEMS电容式麦克风
机译: 在芯片探针上测试MEMS陀螺仪品质因数的方法
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