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WANG Xiao-bi; 王晓碧; ZHU Hao-shen; 朱浩慎; FU Qiu-yun; 傅邱云; LUO Wei; 罗为;
中国声学学会;
MEMS谐振器; 声子晶体; 结构设计; 带隙特性; 有限元法;
机译:一种基于硅的声子晶体带,可用于硅基MEMS谐振器中的系链应用,以及温度和掺杂剂对其带隙特性的影响
机译:减少锚固损耗在具有基于声子晶体带和反射器的支撑系链的薄膜氮化铝/金刚石轮廓模式MEMS谐振器中
机译:基于波导的声子晶体微/纳米机械高谐振器
机译:基于系链集成声子晶体的10 MHz MEMS谐振器反射策略
机译:基于MEMS的可调天线,有机晶体管和基于MEMS的有机控制电路的设计
机译:蜘蛛网状声子晶体用于压电MEMS谐振器可降低声能耗散
机译:基于硅的声子晶体条带,用于支持基于硅的mEms谐振器中的系绳应用以及温度和掺杂剂对其带隙特性的影响
机译:用于高Q mEms谐振器的激光退火。
机译:高Q值的压电MEMS谐振器
机译:具有高Q值和抑制干扰模式的BAW谐振器
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