Micromechanical devices; Crystals; Photonic band gap; Q-factor; Resonant frequency; Acoustics; Lattices;
机译:一种基于硅的声子晶体带,可用于硅基MEMS谐振器中的系链应用,以及温度和掺杂剂对其带隙特性的影响
机译:减少锚固损耗在具有基于声子晶体带和反射器的支撑系链的薄膜氮化铝/金刚石轮廓模式MEMS谐振器中
机译:使用谐振板形状和旋流晶体压电对硅MEMS谐振器的高质量系数设计
机译:基于系绳 - 集成声子晶体的反射策略10 MHz MEMS谐振器
机译:由单晶和多晶3C碳化硅薄膜制成的基于MEMS的弯曲模式横向谐振器的能量耗散
机译:蜘蛛网状声子晶体用于压电MEMS谐振器可降低声能耗散
机译:基于硅的声子晶体条带,用于支持基于硅的mEms谐振器中的系绳应用以及温度和掺杂剂对其带隙特性的影响