公开/公告号CN109752568B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-04
原文格式PDF
申请/专利权人 南京理工大学;南京理工晟奥光电科技有限公司;
申请/专利号CN201910077271.X
申请日2019-01-28
分类号G01P21/00(20060101);G06F17/12(20060101);G06F17/16(20060101);
代理机构32203 南京理工大学专利中心;
代理人吴茂杰
地址 210094 江苏省南京市孝陵卫200号
入库时间 2022-08-23 11:24:20
机译: 微电子机械系统元件的制造方法及微电子机械系统元件的制造方法
机译: 微电子机械系统的密封结构,密封方法及微电子机械系统
机译: 光学微电子机械系统元件,制造相同方法和衍射型光学微电子机械系统元件