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石墨烯保护膜的制备方法、石墨烯保护膜及其使用方法

摘要

一种石墨烯保护膜的制备方法、石墨烯保护膜及其保护方法,所述制备方法包括:采用化学气相沉积法在金属基底表面制备石墨烯膜;将转移辅助贴膜覆盖在金属基底上的石墨烯膜表面;将带有转移辅助贴膜的石墨烯膜置于金属刻蚀剂中,刻蚀去除所述金属基底;用去离子水清洗去除残留的金属刻蚀剂,得到石墨烯保护膜。由上述方法制得的石墨烯保护膜具有转移辅助贴膜层和石墨烯膜层。该石墨烯保护膜可以方便、完全的保护需要被保护的物质,隔离空气中的氧气和水分,同时可以方便的揭除掉而不影响被保护的物质;这种保护过程可以重复多次,对被保护的物质表面没有影响。

著录项

  • 公开/公告号CN109321893B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-11-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 清华大学;

    申请/专利号CN201811203418.7

  • 发明设计人 张莹莹;夏凯伦;

    申请日2018-10-16

  • 分类号C23C16/26(20060101);C23C16/01(20060101);

  • 代理机构11489 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人陈超

  • 地址 100084 北京市海淀区清华园1号

  • 入库时间 2022-08-23 11:23:14

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