一种精确测量曲面上多层微纳米薄膜厚度的方法

摘要

一种精确测量曲面上多层微纳米薄膜厚度的方法，所述方法是在一种圆柱形工业传动件上，采用聚焦离子束磨切技术沿垂直薄膜方向切出薄膜的截面，再利用电子显微镜观察薄膜的截面形貌，从而精确测定各层薄膜厚度的方法。该方法工艺步骤简单易控，特别适合测量异形工件的曲面上传统测量方法难以完成的薄膜厚度的测量，能直接在工件上进行测量，且破坏区域小于10μm量级，对工件服役和使用性能的影响可忽略，在精密零部件加工和微机电系统制造等领域有着广泛的应用范围和良好的应用前景。