薄膜线膨胀系数的一种精确测量方法

摘要

热膨胀系数(α)是衡量材料性能优劣的一个重要参数,但目前对薄膜试样热膨胀系数测量方法的文献报道较少.具体介绍一种采用热机械分析仪测量薄膜试样热膨胀系数的方法.在此基础上分析引起测量误差的原因,并通过参比铜箔对仪器进行了校正,获得仪器的修正参数.结果表明,通过校正消减了仪器自身热膨胀,能精确求出薄膜的热膨胀系数.