一体构型的全柔性并联三维精密位移台

摘要

本发明公开一种一体构型的全柔性并联三维精密位移台，由外层固定框架、中层嵌套移台框架与内层嵌套移台框架。其中，外层固定框架与中层嵌套移台框架间通过周向铰链柔性连接，向中层嵌套移台框架施力后可使中层嵌套移台框架内安装的内层嵌套移台框架上的负载平台沿x轴方向移动。同时设计中层与内层嵌套移台框架由板状支架组合而成，可视为由柔性铰链连接的对称式并联四连杆机构，以及四连杆机构；通过对四连杆机构施加力，实现负载平台沿y轴方向的移动；通过对对称式并联四连杆机构施力，实现负载平台沿z轴方向的移动。本发明结构紧凑，可实现50nm的定位精度，且采用全柔性铰链连接，可避免机械装配引入的定位误差。