直线超声电机驱动的精密运动台的位移分辨率实验

摘要

直线超声电机直接驱动的精密运动台可以很好地兼顾大行程和高精度的特点,且结构简单、易于控制.为了进一步提高这种平台的定位精度,本文描述了预压力、驱动电压及驱动波形对平台微步距的影响,并完成了位移分辨率测试实验,结果显示,在100kHz的2个方波信号、30N的预压力、驱动电压约350Vpp的情况下其分辨率可以达到25nm.