双边驱动精密运动台振动特性研究

摘要

双边驱动结构具有行程大、驱动力大、带宽高等优点,在平面两自由度气浮精密/超精密运动台中得到了广泛应用.双边驱动方式通常采用双边测量,这样不仅会导致阿贝误差,同时也会对系统的模型产生影响.本文针对平面两自由度双边驱动气浮精密运动台,通过仿真和辨识实验研究,对系统的共振和反共振问题进行了深入分析,为解决此类双边驱动结构的振动问题提供了理论依据.