公开/公告号CN108064316B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-27
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市柔宇科技有限公司;
申请/专利号CN201680039399.1
申请日2016-12-28
分类号C23C14/54(20060101);C23C14/24(20060101);C23C14/04(20060101);
代理机构
代理人
地址 518052 广东省深圳市南山区科技园科苑路15号科兴科学园A4-1501
入库时间 2022-08-23 11:18:28
机译: 蒸镀掩模的制造方法,蒸镀掩模制备体,有机半导体元件的制造方法,有机EL显示器的制造方法以及蒸镀掩模
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