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蒸镀机对位系统及蒸镀机对位系统选取方法

摘要

一种蒸镀机对位系统(100)及蒸镀机对位系统选取方法。通过蒸镀机对位系统(100)及蒸镀机对位系统选取方法,可以在蒸镀过程中更为精准的控制基板(10)的对位操作,使得所述基板(10)与掩模板(20)更为精准的对位,进一步还可提高包含所述基板(10)的OLED面板的品质。

著录项

  • 公开/公告号CN108064316B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-10-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳市柔宇科技有限公司;

    申请/专利号CN201680039399.1

  • 发明设计人 刘伟达;张家奇;

    申请日2016-12-28

  • 分类号C23C14/54(20060101);C23C14/24(20060101);C23C14/04(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 518052 广东省深圳市南山区科技园科苑路15号科兴科学园A4-1501

  • 入库时间 2022-08-23 11:18:28

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