一种气压调节装置、气压调节方法及晶圆刻蚀设备

摘要

本发明涉及一种气压调节装置，所述气压调节装置包括：承载结构、压力片、通气管、排气管、气缸、活塞及阀门；压力片与承载结构形成一中空结构，所述承载结构上安装所述通气管和所述排气管，所述通气管和所述排气管与所述中空结构相通，所述气缸安装在所述排气管上并与所述排气管相通，所述活塞设置在所述气缸内以控制所述气缸中的气压；所述阀门设置于通气管和排气管上。所述压力片与所述承载结构形成中空结构，使所述承载结构与所述压力片边缘密封接触；所述通气管和所述排气管使所述中空结构中气流通畅；所述活塞设置在所述气缸内，移动所述活塞调节气缸体积以调节所述中空结构中的气压，从而调节气压所产生的压力，使所述压力片气压平衡。