MEMS陀螺仪的闭环锁相驱动电路

摘要

一种MEMS陀螺仪的闭环锁相驱动电路，包括：MEMS陀螺敏感器件(101)、跨阻放大器(102)、反相放大器(103)、低通滤波器(104)和电阻分压器，其中，所述MEMS陀螺敏感器件(101)包括检测端和静电驱动端，所述检测端输出连接反相放大器(103)，反相放大器(103)后端接低通滤波器(104)，低通滤波器(103)后端连接至电阻分压器，所述电阻分压器输出接所述静电驱动端。该驱动电路为MEMS陀螺仪驱动系统提供一种简单、实用、高性能的解决方案。