化学气相沉积法制备宏量六方氮化硼粉体的方法

摘要

本发明公开了一种化学气相沉积法制备宏量六方氮化硼粉体的方法，包括：将前驱物在含氮反应气氛中加热至900℃～1450℃并保温，之后在保护气氛中冷却至室温，获得粗产物，所述前驱物包含氧化硼与氯化镁的均匀混合物；以及，对所述粗产物进行后处理，从而获得六方氮化硼粉体。本发明工艺采用的原料廉价易得，工艺流程简单，可一步得到粗产物，前驱物反应效率高达95％，粗产物经简单后处理后即可形成纯度高达99％的产物，而且本发明工艺中只需改变反应温度范围，即可得到两种完全不同形貌和功能的六方氮化硼粉体产物。藉由本发明的工艺可轻松实现六方氮化硼的克级以上制备。