一种基于SOI的自补偿硅微谐振式压力敏感芯片

摘要

一种基于SOI的自补偿硅微谐振式压力敏感芯片，涉及一种谐振式压力敏感芯片。本发明解决了现有谐振式压力敏感芯片谐振器受到外界因素影响而导致谐振频率漂移的问题。本发明包括第一谐振器(1)和第二谐振器(2),第一谐振器(1)和第二谐振器(2)水平并排安装在硅片上,且第一谐振器(1)的下面刻蚀减薄，用于测量待测压力信息；第二谐振器(2)的下面未刻蚀，用于测量除了压力以外的其他信息，补偿误差因素对第一谐振器(1)谐振频率的影响；第一谐振器(1)和第二谐振器(2)的运动方向和结构相同。本发明用于自补偿硅微谐振式压力敏感芯片。