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公开/公告号CN100390953C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-05-28
原文格式PDF
申请/专利权人 日东电工株式会社;
申请/专利号CN02155795.0
发明设计人 山本雅之;松下孝夫;
申请日2002-12-03
分类号H01L21/68(20060101);B65G49/07(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人刘佳
地址 日本大阪府
入库时间 2022-08-23 09:00:47
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-05-28
授权
2005-02-09
实质审查的生效
2003-06-11
公开
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