采用李兹线路的射频加热技术用于半导体晶片生产

摘要

0 前言 基于多种原因,射频(RF)是一种十分理想的材料加工技术,其中最重要的原因是清洁。RF加热时只有基板和基片承受高温,其他生长工艺比如Czbchralski晶生产中若采用导电材料,连基座都不需要。当材料在很高的温度下无法置于坩埚中时。