法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-07-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01P 5/06 授权公告日:20080702 终止日期:20120529 申请日:20060529
专利权的终止
2008-07-02
授权
授权
2006-12-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-10-25
公开
公开
机译: 热式流速传感器和使用该传感器的传感器系统
机译: 热式流速传感器和使用该传感器的流体流量计
机译: 基于多孔气孔技术或微通道技术的低功耗硅热传感器和微流控设备