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一种新型硅电容式流速流向传感器的设计

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设计了一种基于体微机械加工技术的新型硅电容式流速流向传感器.这种传感器由圆柱型阻流体和支撑梁构成,这种结构将流体的流速流向信息转化为阻流体的位移,通过四组正交电容来测量位移,从而得到流体的流速和流向.理论计算了传感器的结构尺寸并利用有限元分析方法计算了传感器的电容输出.

著录项

来源
《传感技术学报》 |2006年第5期|2041-20432046|共4页
作者
魏泽文; 秦明; 黄庆安;
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作者单位

东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;

东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;

东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;

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正文语种 chi
中图分类自动化技术及设备 ;
关键词
微机械 ; 硅; 流速流向传感器; 电容 ;

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