机译:Prandtl微型流量传感器(PMFS):一种用于流速测量的新型硅膜电容传感器
机译:Prandtl微型流量传感器(PMFS):一种用于流速测量的新型硅膜电容传感器
机译:具有碳化硅/多晶硅双层膜片和相反侧的电通孔连接的防腐蚀电容式真空传感器的制造
机译:两个用于基于电容的硅场效应传感器的微孔流动注射分析(FIA)平台
机译:Prandtl微型流量传感器(PMFS):用于流速测量的新型硅膜电容传感器
机译:气体在矩形微通道和使用压差的电容式微流量传感器中流动。
机译:光学微线流速传感器
机译:微机械电容式压力传感器硅隔膜的力学行为