{110}晶面平面应力分量测量方法及系统

摘要

本发明提供了一种{110}晶面平面应力分量测量方法及系统，涉及应力测量技术领域，该方法包括在待测{110}晶面上建立样品坐标系；该样品坐标系的X轴和Y轴方向为待测{110}晶面内的正交方向，Z轴方向为外法向；将入射光沿Z轴方向的反方向聚焦到待测{110}晶面上，控制几何偏振配置使入射光和散射光均为偏振光，并背向采集拉曼光谱信息；构建该拉曼光谱信息中拉曼频移增量与待测{110}晶面应力分量之间的关系式；求解该关系式得到该应力分量。本发明实施例提供的{110}晶面平面应力分量测量方法，可以准确测量金刚石型半导体材料的{110}晶面在任意平面应力状态下的各应力分量，操作简单，空间分辨率高。