使用基于学习的模型加速半导体缺陷检测的方法和系统

摘要

本发明提供用于使用针对样本模拟的输出执行针对所述样本的一或多个功能的方法及系统。一种系统包含经配置以用于由包含于工具中的一或多个检测器获取针对样本产生的输出的一或多个计算机子系统，所述工具经配置以在所述样本上执行过程。所述系统还包含由所述一或多个计算机子系统执行的一或多个组件。所述一或多个组件包含基于学习的模型，其经配置以用于使用所获取的输出作为输入执行一或多个第一功能以借此产生针对所述样本的模拟输出。所述一或多个计算机子系统还经配置以用于使用所述模拟输出针对所述样本执行一或多个第二功能。