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产生薄无机膜的方法

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摘要

本发明属于在基材上产生薄无机膜的方法，特别是原子层沉积法的领域。本发明涉及一种包括使通式(I)化合物变为气态或气溶胶状态并使气态或气溶胶状态的通式(I)化合物沉积在固体基材上的方法，其中M为Mn、Ni或Co，X为与M配位的配体，n为0、1或2，R

1. 用于薄无机膜的产生的方法 [P] . 中国专利： CN108368606B . 2021.04.13
2. 产生薄无机膜的方法 [P] . 中国专利： CN107278235B . 2019.08.13
3. STIFFENED THIN INORGANIC MEMBRANES AND METHODS FOR MAKING THE SAME [P] . 世界知识产权组织专利： WO2019222321A1 . 2019-11-21

机译：加筋的薄无机膜及其制造方法
4. Materials and methods for producing cell-surface directed and associated non-naturally occurring bioinorganic membranes and uses thereof [P] . IN2012DN06737A . 2015-11-13

机译：用于产生细胞表面定向的和相关的非天然存在的生物无机膜的材料和方法及其用途
5. Materials and methods for producing cell-surface directed and associated non-naturally occurring bioinorganic membranes and uses thereof [P] . AU2011205349A1 . 2012-08-23

机译：用于产生细胞表面定向的和相关的非天然存在的生物无机膜的材料和方法及其用途