等离子体增强化学气相沉积制备二维材料的系统及方法

摘要

等离子体增强化学气相沉积制备二维材料的系统及方法，属于二维材料制备技术领域。所述系统包括真空系统、衬底加热系统、等离子体增强系统和进气管路；真空系统含有镀膜腔室和进样腔室，在镀膜腔室和进样腔室上均分别设有进气口、出气口以及多个观测窗口。本发明旨在利用等离子体辅助促成前驱体反应裂解，并在超高真空下实现对衬底表面和腔体的清洁，在通过特殊设计进气管路进行前驱体定点供给，从而实现在多种材料表面上制备二维材料。本发明强调环境和表面的超高清洁对于二维材料生长的辅助作用，并以此系统与方法实现二维薄膜材料的生长，取消传统的转移过程对材料的破坏以及高温生长对衬底的局限性。