像点溯源的物体光栅图像相移法相位测量误差校正方法

摘要

本发明公开了一种像点溯源的物体光栅图像相移法相位测量误差校正方法。在相移法形貌测量中，表面高度信息由相位信息进行表征。由于设备的非线性，经由相机捕获的图片所计算的相位信息中不可避免地存在误差。首先，通过投影仪投射特殊的光栅投影求解像点溯源映射关系。然后，逆着光路方向，对位于拍摄图片中的任一图片像素，根据像点溯源映射关系，确定将其点亮的位于投影仪成像平面中的点光源位置。最后，利用编码至点光源中的理想相位，替换图片像素中受干扰的相位信息，实现相位误差的校正，提高相移法形貌测量精度。与现有方法相比，本方法便于操作，且效率和精度较高。