一种可溯源的在片高值电阻测量系统及其溯源方法和不确定度评定

摘要

在片高值电阻测量系统在半导体行业广泛应用,但是目前在片高值电阻参数无法溯源,不能保证测试数据准确一致.为解决在片高值电阻参数的溯源问题,组建了可溯源的一套在片高值电阻测量系统,并提出了针对该系统的量值溯源方案,实现了在片高值电阻到常规同轴形式标准高值电阻的溯源.对系统的不确定度进行了分析并通过实验进行了不确定度评定,实验数据显示相对扩展不确定度为0.32％(k=2,1GΩ点).