基于模拟退火的相位测量轮廓术随机相移误差校正

摘要

建立任意步长的随机相移误差校正模型,采用模拟退火算法完成随机相移误差的优化估计,利用最小二乘法推导出求解截断相位的新算法,并给出计算机模拟和不同算法的试验结果.仿真结果表明,所提出的算法能准确地优化出随机相移误差,提高了测量精度.