湿腐蚀过程中防止晶片移位的固定装置

摘要

本发明公开了一种湿腐蚀过程中防止晶片移位的固定装置，其设置于腐蚀槽上；该固定装置包括：腐蚀槽顶盖，活动连接于腐蚀槽，腐蚀槽顶盖枢轴转动，至少两个固定杆，连接固定在腐蚀槽顶盖件上，沿着腐蚀槽顶盖的长度方向相互平行设置；至少两个横梁，固定于固定杆下端；腐蚀槽顶盖盖到腐蚀槽上时，横梁与放在腐蚀槽内的晶舟上的晶片接触，横梁与其接触的晶片的圆周边缘上的接触点形成面接触。本发明在湿腐蚀过程中防止晶片移位。