一种高疏水多元掺杂类金刚石薄膜及其制备方法

摘要

本发明提供了一种高疏水多元掺杂类金刚石薄膜，包括：掺杂F和Si的DLC薄膜层。与现有技术相比，本发明提供的高疏水多元掺杂类金刚石薄膜膜层较薄，只有10nm左右，同时含有F和Si的元素掺杂，F的掺杂，在DLC薄膜表面形成低表面能的‑CF和‑CF₂基团，降低DLC的表面能，可提高表面疏水性，Si元素与DLC以Si‑C键结合，提高SP3键含量，并减少DLC膜层中石墨岛的尺寸，减少膜层表面的粗糙度和动摩擦系数，通过F和Si的共掺杂，能够提高DLC的疏水性和降低动摩擦系数；使这种薄膜具有较好的水滴角和顺滑度，具有高疏水性和防指纹效果。本发明还提供了一种高疏水多元掺杂类金刚石薄膜的制备方法。