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第一章绪论
第一节类金刚石薄膜及掺杂类金刚石薄膜概述
1.1类金刚石薄膜及掺杂类金刚石薄膜的组成、结构与表征
1.2类金刚石薄膜及掺杂类金刚石薄膜的性质和应用
1.3类金刚石薄膜及掺杂类金刚石薄膜的制备
第二节液相电沉积类金刚石薄膜及掺杂类金刚石薄膜
2.1引言
2.2实验装置及基本原理
2.3液相电沉积法制备类金刚石薄膜及其相关材料的研究进展
2.4反应机理
第三节研究前沿、选题意义及主要研究内容
3.1研究前沿
3.2选题意义
3.3主要研究内容
参考文献
第二章高电压电解乙腈沉积类金刚石薄膜
第一节实验部分
1.1实验装置
1.2基片的预处理及薄膜的制备
1.3薄膜的表征
第二节结果与讨论
2.1电沉积过程研究
2.2透射电子显微镜(TEM)分析
2.3原子力显微镜(AFM)分析
2.4红外光谱(IR)分析
2.5 Raman光谱分析
2.6 X-射线光电子能谱(XPS)分析
2.7少量水对类金刚石薄膜形成的影响
第三节小结
参考文献
第三章温和条件下电解二甲亚砜沉积类金刚石薄膜
第一节研究背景及可行性论证
1.1研究背景
1.2可行性论证
第二节电解DMSO在Al片上沉积类金刚石薄膜
2.1实验部分
2.2结果与讨论
2.3小结
第三节电解DMSO在Si片上沉积类金刚石薄膜
3.1实验部分
3.2结果与讨论
3.3小结
第四节沉积机理分析
参考文献
第四章液相电化学方法沉积掺杂类金刚石薄膜
第一节研究背景及可行性论证
1.1研究背景
1.2可行性论证
第二节液相电化学方法沉积铜掺杂类金刚石薄膜
2.1实验部分
2.2结果与讨论
2.3小结
第三节液相电化学方法沉积氟掺杂类金刚石薄膜
3.1实验部分
3.2结果与讨论
3.3小结
参考文献
第五章结束语
5.1类金刚石薄膜及掺杂类金刚石薄膜的沉积机理分析
5.2主要结论
5.3存在问题
5.4展望
参考文献
硕士期间发表及待发表论文
致谢