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保护膜形成膜、保护膜形成用片、保护膜形成用复合片及加工物的制造方法

摘要

本发明涉及具备保护膜形成膜(1)、以及叠层于该保护膜形成膜(1)的一面或两面的剥离片(21)的保护膜形成用片(2),所述保护膜形成膜(1)在波长1064nm的透光率为55%以上、在波长550nm的透光率为20%以下。根据该保护膜形成用片(2),能够形成可以利用激光预先对半导体晶片等工件设置改质层,并通过施加力进行分割,并且不会通过肉眼观察到存在于工件或加工物上的磨痕的保护膜。

著录项

  • 公开/公告号CN105934811B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-07-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 琳得科株式会社;

    申请/专利号CN201580005141.5

  • 发明设计人 山本大辅;米山裕之;

    申请日2015-01-21

  • 分类号

  • 代理机构北京市柳沈律师事务所;

  • 代理人王利波

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2022-08-23 11:05:34

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-07-17

    授权

    授权

  • 2016-10-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20150121

    实质审查的生效

  • 2016-09-07

    公开

    公开

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