公开/公告号CN105378563B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-14
原文格式PDF
申请/专利权人 皇家飞利浦有限公司;
申请/专利号CN201480041800.6
申请日2014-07-22
分类号G03F7/00(20060101);B29C59/02(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人李静岚;景军平
地址 荷兰艾恩德霍芬
入库时间 2022-08-23 11:05:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-14
授权
授权
2016-08-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/00 申请日:20140722
实质审查的生效
2016-03-02
公开
公开
机译: 纳米压印模具,用于制造纳米压印模具的方法,使用该纳米压印模具的纳米压印方法以及图案化基板的制造方法
机译: 氧化物材料,图案化基板,图案形成方法,压印转印模具的制造方法,记录介质的制造方法,记录介质和压印转印模具
机译: 用于压印的模具,用于制造压印模具的方法,用于制造图案化介质生产基板的方法以及图案化介质制造方法