带电粒子显微镜中的图像处理

摘要

一种使用带电粒子显微镜的方法，所述带电粒子显微镜包括：‑源，用于产生带电粒子的射束；‑样品保持器，用于保持样品；‑光照器，用于利用所述带电粒子辐照所述样品；‑检测器，用于检测响应于所述辐照而从样品放射的辐射；‑控制器，用于控制显微镜的操作的至少一些方面，所述方法包括以下步骤：‑使用所述检测器来采集样品的给定部分的相继的一系列分量图像{I