用于减少微粒渗入MEMS麦克风封装件的声室中的入口防护部

摘要

一种可表面安装的MEMS麦克风，其包括安装在可表面安装的封装壳体内部并且完全封闭在其中的MEMS麦克风芯片和专用集成电路(ASIC)。该可表面安装封装件是单个自含式壳体，为用于封闭的MEMS麦克风芯片和ASIC的外部电路提供电接口，并为MEMS麦克风芯片和ASIC提供电、物理及环境保护。该可表面安装封装件允许外部声能经由一个或更多个声学端口进入封装件内部并撞击MEMS麦克风芯片的隔膜。该可表面安装封装的盖子包括声学端口，该声学端口具有用于限制灰尘和微粒侵入的入口防护部。该入口防护部可以是作为可表面安装封装件的具有各种形状的盖子的一部分的成形构件、内部屏蔽部，或者成形部件和内部屏蔽部两者的组合。