用于MEMS真空封装中的纳米吸气剂

摘要

真空的获得和维持是目前MEMS真空封装技术中存在的主要难题之一。实验利用具有高比表面积和自身储气特性的碳纳米管(CNTs)作为骨架,制备一种能在高真空环境(<10-3Torr,分子状态)和低温(<400℃)下吸收活性气体的新型吸气剂——纳米吸气剂。与传统吸气剂意大利SAES公司的St175相比,在500℃下激活10min后,室温下,单位质量的纳米吸气剂吸气速率约是St175的1000倍;而带温(320℃)下测试,约是St175(750℃下激活10min后冷却至400℃下测试)的20倍。