micro-electro-mechanic systems; vacuum maintenance; film getter;
机译:用于MEMS真空维护的微米/纳米薄膜吸气剂
机译:用于MEMS真空包装的ZrCoCe吸气剂薄膜
机译:回顾MEMS的真空包装和维护以及其中的吸气剂的使用
机译:微/纳米薄膜吸气剂,用于MEMS的真空维护
机译:电沉积的金属基质纳米复合材料为MEMS薄膜和高纵横比的微结构。
机译:具有Ru籽晶层的MEMS不可蒸发吸气薄膜的研制与表征
机译:真空系统中Ti-Zr-V不挥发吸气剂薄膜的表征与评价