机译:钌(Ru)薄膜的原子层沉积,使用乙基苯环-环己二烯Ru(0)作为铜金属化的种子层
机译:压电MEMS应用中不同晶粒尺寸的KCa2Nb3O10晶体的合成及其纳米片单层膜作为种子层
机译:由PZT薄膜驱动的MEMS膜的开发和表征
机译:使用新型的基于羰基的钌前驱体和非氧化性反应物进行钌薄膜的低温原子层沉积;在铜金属化种子层上的应用
机译:分子电子学中钯种子层上ALD铜薄膜的表征。
机译:自组装单分子烷烃硫醇链修饰的稳定化薄膜Ag / AgCl参比电极的制备与表征用于快速生物传感应用
机译:粒径不同的KCa2Nb3O10晶体的合成及其纳米片单层膜作为压电MEMS应用的种子层
机译:用于mEms应用的薄膜的热特性