制备载负的不可蒸发吸气材料薄层的方法和用其制造的吸气装置

摘要

提出了一种制备载负的吸气材料薄层的方法，包括：制备至少一种不可蒸发吸气材料(NEG)颗粒的悬浮液，颗粒尺寸小于150μm，分散介质为水基、醇基或水-醇基，含有一定重量百分数的沸点高于250℃的有机化合物，其含量低于1%，其中，所说的不可蒸发吸气材料(NEG)与所说的分散介质的重量比在4∶1～1∶1之间；用丝网印刷技术在金属载体上沉积至少一层不可蒸发吸气材料(NEG)悬浮液；通过使挥发性组分蒸发干燥所得的沉积物；在真空炉中烧结所干燥的沉积物，烧结温度在800～1000℃之间，在真空下操作，并用在真空下在任何工艺温度下不产生物理或化学变化的材料覆盖所说的沉积物。还提出了根据这样的方法得到的吸气装置。